边胶清洗剂 AR级 EL级 MOS级 RM-A级

产品名称：边胶清洗剂

1、产品介绍
无色透明易挥发液体，易燃，有酯的香味，不溶于水。
2、用途
硅片边胶及背胶的清洗。
3、使用方法
一般用喷淋方法对硅片边胶及背胶部分清洗一次完成。

4、参数

项目
规格
丙二醇甲醚醋酸酯含有量（Vol%）
≥75.0
正丁醇含有量（Vol%）
≤25.0
外观
无色透明液体，无机械杂质
密度(20℃,g/ml)
0.920±0.010
水份，%
0.05
过滤器
经0.1μm滤器过滤
杂质最高含量,ppb
---
不挥发物
10000
钠(Na)
100
钾(K)
50
镁(Mg)
50
钙(Ca)
50
铁(Fe)
100
铝(Al)
50
锌(Zn)
50
锡(Sn)
50
铜(Cu)
50
锰(Mn)
50
颗粒,(个/ml)≥0.5μm,max
50

5、贮存、运输及使用注意事项
a.易燃液体。密闭包装，并贮存于阴凉通风处，防火。
b.操作时工作场所必须保持通风。
6、包装及标志
2.5升玻璃瓶包装。易燃品。

项目	规格
丙二醇甲醚醋酸酯含有量（Vol%）	≥75.0
正丁醇含有量（Vol%）	≤25.0
外观	无色透明液体，无机械杂质
密度(20℃,g/ml)	0.920±0.010
水份，%	0.05
过滤器	经0.1μm滤器过滤
杂质最高含量,ppb	---
不挥发物	10000
钠(Na)	100
钾(K)	50
镁(Mg)	50
钙(Ca)	50
铁(Fe)	100
铝(Al)	50
锌(Zn)	50
锡(Sn)	50
铜(Cu)	50
锰(Mn)	50
颗粒,(个/ml)≥0.5μm,max	50